![]() | ![]() |
主要參數(shù)
| 型號 | MPT-6JN/RL050 |
| 運動自由度 | X,Y,Z ;θx,θy,θz |
| 行程范圍(μm±20%) | 50,50,30 |
| 轉(zhuǎn)角范圍 (mrad±20%) | 0.6,0.6,1 |
| 位移分辨率 (nm) | 0.6,0.6,1 |
| 重復(fù)定位精度 (nm) | -/50,-/50,-/30 |
| 運動方向上剛度(N/μm±20%) | 50 |
| 負載 (Kg) | 5 |
| 固有頻率 (Hz±20%) | 1500 |
| 工作溫度范圍 (℃) | -20 ~ 80 |
| 模型下載 |
開環(huán)工作臺推薦匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺推薦匹配電源型號:PPC-2CR0150





