設(shè)備概述
FSEM系列噴金儀適用于常規(guī)SEM和TEM分析。該設(shè)備是全自動(dòng)系統(tǒng)，從而使操作變得極為簡(jiǎn)便。秉承人體工學(xué)設(shè)計(jì)理念的同時(shí)，緊湊的外觀設(shè)計(jì)和更小的桌面占用面積為您大大節(jié)約了實(shí)驗(yàn)室空間。FSEM系列噴金儀為全閉環(huán)真空設(shè)計(jì)，配有全量程皮拉尼真空計(jì)等多個(gè)傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)，保證儀器安全穩(wěn)定運(yùn)行。采用高性能旋葉真空泵，快速獲得＜1Pa的真空環(huán)境，高精度的濺射電源采用恒流控制，鍍膜更純，膜厚更準(zhǔn)，結(jié)果重復(fù)性更好。
產(chǎn)品特點(diǎn)
◇ 設(shè)計(jì)美觀，操作簡(jiǎn)單，界面友好、一鍵鍍膜
◇ 可直接放置12個(gè)標(biāo)準(zhǔn)釘型樣品臺(tái)，無(wú)需工作人員介入，節(jié)省人力和時(shí)間
◇ 采用ARM架構(gòu)，全自動(dòng)控制，控制精度高，操作簡(jiǎn)單
◇ 低電壓，穩(wěn)定真空環(huán)境，可濺射多種常用金屬金、鉑、鈀、銀等
◇ 濺射顆?？蛇_(dá)納米級(jí)別，濺射顆粒＜5nm制備薄膜致密，適合高分辨SEM使用
◇ 采用磁控濺射技術(shù)，利用平面磁場(chǎng)減少溫度的變化，適用于溫度敏感樣品
◇ 配有多個(gè)傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)，保證儀器使用安全
◇ 長(zhǎng)期運(yùn)行，穩(wěn)定可靠，無(wú)需特殊維護(hù)
◇ 具備開關(guān)機(jī)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)記憶，修復(fù)長(zhǎng)期應(yīng)用偏差
◇ 儀器可全自動(dòng)控制，更方便用戶實(shí)現(xiàn)各種自動(dòng)化控制操作
◇ 軟件遵循GMP規(guī)范，方便實(shí)現(xiàn)用戶管理，使用記錄等功能
技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備型號(hào) | FSEM A200 |
| 濺射類型 | 低壓磁控平面濺射 |
| 靶材尺寸 | 直徑50mm，靶材利用率 |
| 控制模式 | 5寸觸摸屏全自動(dòng)程序控制 |
| 真空系統(tǒng) | 機(jī)械旋葉泵，極限真空＜1Pa真空抽速1L/s |
| 真空測(cè)量 | 全量程皮拉尼數(shù)字真空計(jì) |
| 工作真空 | 2-8Pa，真空精度可達(dá)0.1Pa |
| 樣品臺(tái) | 可升降，可放置12個(gè)標(biāo)準(zhǔn)釘型臺(tái)，直徑可達(dá)65mm |
| 濺射電源 | 恒流磁控DC濺射電源300-600V，Max50mA控制精度可達(dá)1mA |
| 濺射時(shí)間 | ≤600s，控制精度1s |
| 真空腔室 | φ130×100mm |
| 供電要求 | 200-240VAC 50Hz，功率500W |
| 外形尺寸 | 420×260×280mm |
配置清單
| 序號(hào) | 名稱 | 規(guī)格 | 數(shù)量 |
| 1. | 噴金儀主機(jī) | FSEM A200 | 1臺(tái) |
| 2. | 鉑金靶材 | 50×0.1mm | 1個(gè) |
| 3. | 真空管路 | KF16-1.2m | 1根 |
| 4. | 機(jī)械真空泵 | VRD-4 | 1臺(tái) |
| 5. | 合格證、保修卡、說(shuō)明書、裝箱單 | / | 1套 |
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