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二手OLYMPUS MX61顯微鏡

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廣州思貝舒檢測儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

MX61L產(chǎn)品特點:半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡大型載物臺搭載:300mm晶圓全面檢查(MX61L)采用高NA的透射光聚光鏡

詳細介紹

MX61L
產(chǎn)品特點:
半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺搭載: 300mm晶圓全面檢查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式多種照明方式多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
• 反射光照明

型號	MX61L型顯微鏡
光學(xué)系統(tǒng)	UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠校正光學(xué)系統(tǒng)）
顯微鏡鏡體	射光照明（F.N. 26.5）	12V100W鹵素?zé)襞荩A(yù)定心型）明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組（選配），轉(zhuǎn)換使用內(nèi)置電動孔徑光闌（每個物鏡可預(yù)設(shè)，物鏡轉(zhuǎn)換時自動轉(zhuǎn)換，暗視場觀測時自動打開）
	觀測方法
		①反射光明視場法；②反射光暗視場法；③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法；④反射光簡單偏振法；⑤反射光熒光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明視場法；⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。
觀察鏡筒	超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5）：MX-SWETTR型其它：超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒	超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5）：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的標準配置）
換鏡轉(zhuǎn)盤	電動五孔明/暗視野法用轉(zhuǎn)盤，配備滑槽用于微分干涉襯比法觀測：U-D5BDREMC型
載物臺	MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm 原裝日本精機2軸電動平臺，可以進行XY軸同時聯(lián)動。帶12寸晶圓載物臺板。
	內(nèi)置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz
能耗
體積/重量	體積：約710（寬）×843（長）×507（高）mm 重量：約51kg（載物臺約重31kg）