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nGuage便攜式原子力顯微鏡

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北京培科創(chuàng)新技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ICSPI通過(guò)整合機(jī)電一體化系統(tǒng)，將傳統(tǒng)AFM集成到一個(gè)CMOS芯片上，設(shè)計(jì)生產(chǎn)出世界單芯片動(dòng)態(tài) 原子力顯微鏡（Single-Chip Dynamic Atomic Force Microscope）nGauge：更小、更快、更強(qiáng)！nGauge集成化原子力顯微鏡功能強(qiáng)大，操作簡(jiǎn)便，環(huán)境適應(yīng)性；具有的振動(dòng)免疫性，更少的漂移，性價(jià)比。

詳細(xì)介紹

ICSPI通過(guò)整合機(jī)電一體化系統(tǒng)，將傳統(tǒng)AFM集成到一個(gè)CMOS芯片上，設(shè)計(jì)生產(chǎn)出世界單芯片動(dòng)態(tài)原子力顯微鏡（Single-Chip Dynamic Atomic Force Microscope）nGauge：更小、更快、更強(qiáng)！nGauge集成化原子力顯微鏡功能強(qiáng)大，操作簡(jiǎn)便，環(huán)境適應(yīng)性；具有的振動(dòng)免疫性，更少的漂移，性價(jià)比。

產(chǎn)品概述和特點(diǎn)

♦ 集成熱壓阻共振懸臂梁，可變換，成像時(shí)間少于1分鐘（無(wú)需激光對(duì)準(zhǔn)）；
♦ 熱距離傳感器可在數(shù)秒內(nèi)自動(dòng)化完成針尖靠近；
♦ 熱電MEMS驅(qū)動(dòng)器高精移動(dòng)懸臂針尖，具有低漂移，適應(yīng)長(zhǎng)時(shí)成像實(shí)驗(yàn)；
♦ 系統(tǒng)高度集成小巧，具有的振動(dòng)免疫性，可在任意平面上直接測(cè)量，無(wú)需隔震；
♦ 氧化鋁針尖具有超長(zhǎng)使用壽命，可連續(xù)成像超過(guò)10000張。

nGauge應(yīng)用方向

技術(shù)參數(shù)

nGuage AFM參數(shù)

掃描范圍（XYZ）	15umx15umx10um
XY掃描分辨率	<0.5nm
XYZ驅(qū)動(dòng)方式	電熱法
傳感器	壓阻
動(dòng)態(tài)RMS噪聲	<1nm
成像模式	間斷接觸，動(dòng)態(tài)AFM
掃描速度	>8lines/s

硬件參數(shù)

系統(tǒng)尺寸	70mmx90mmx75mm
載物臺(tái)尺寸（XY）	70mmx43mm
Z軸行程	20mm
驅(qū)動(dòng)方式	步進(jìn)電機(jī)
系統(tǒng)重量	450g
隔震裝置	無(wú)需額外隔震裝置