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全自動型原子力顯微鏡 AFM5500M

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-09-28 12:58:25瀏覽次數(shù):156次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:32條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:宋先生

產(chǎn)品簡介

AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達(dá)臺的全自動型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換,激光對中,測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺可輕松實現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。

詳細(xì)介紹

 1. 自動化功能

高度集成自動化功能追求高效率檢測

降低檢測中的人為操作誤差

4英寸自動馬達(dá)臺     自動更換懸臂功能

                        4英寸自動馬達(dá)臺                                                自動更換懸臂功能


◆ 2. 可靠性

排除機(jī)械原因造成的誤差

image.png 大范圍水平掃描

采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運(yùn)動所產(chǎn)生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是,用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運(yùn)動的影響,圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。

AFM5500M搭載了新研發(fā)的水平掃描器,可實現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動影響的準(zhǔn)確測試。

Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

                          Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate


image.png 高精角度測量

普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發(fā)生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。

AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會發(fā)生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

Textured-structure solar battery

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

* 使用AFM5100N(開環(huán)控制)時


◆ 3. 融合性

親密融合其他檢測分析方式

通過SEM-AFM的共享坐標(biāo)樣品臺,可實現(xiàn)在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌,結(jié)構(gòu),成分,物理特性等。

Correlative AFM and SEM Imaging

SEM-AFM在同一視野觀察實例(樣品:石墨烯/SiO2)

The ovrlay images createed

          The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.


上圖是AFM5500M拍攝的形狀像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應(yīng)用數(shù)據(jù)。

image.png 通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。

image.png 石墨烯層數(shù)不同導(dǎo)致表面電位(功函數(shù))的反差。

image.png SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

今后計劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯(lián)用。

 AFM5500M 主機(jī)

image.png

* 參數(shù)與設(shè)備配置及放置環(huán)境相關(guān)。


AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站

image.png

* WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊商標(biāo)。

* RealTune是日立高新科學(xué)公司在日本、美國以及歐洲的注冊商標(biāo)。


選配項:SEM-AFM聯(lián)用系統(tǒng)

image.png


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