天津百川實驗儀器有限公司
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該系統(tǒng)是一款可以控制多種氣體按不同流量進行混合配比的供氣系統(tǒng)，氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過管道到供氣系統(tǒng)的入口，再經過質量流量計控制氣體流量，然后經過混氣罐，再進入爐子進氣口?；鞖夤奚辖佑袎毫Ρ?，壓力表顯數盤與質量流量計顯示板安裝在同一面板上，每一條氣體管路均有一個高壓截止閥。各通道氣體流量設定和狀態(tài)顯示都集中在PLC觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數據。
產品特點：
該系統(tǒng)是一款可以控制多種氣體按不同流量進行混合配比的供氣系統(tǒng)，氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過管道到供氣系統(tǒng)的入口，再經過質量流量計控制氣體流量，然后經過混氣罐，再進入爐子進氣口?；鞖夤奚辖佑袎毫Ρ?，壓力表顯數盤與質量流量計顯示板安裝在同一面板上，每一條氣體管路均有一個高壓截止閥。各通道氣體流量設定和狀態(tài)顯示都集中在PLC觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數據。
技術參數：
1.氣路通道：多通道（可根據客戶需要確定）
2.氣體類型：客戶可以根據自己的要求任意選擇氣體。
3.流量計標準量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意選擇量程)
4.工作電壓：220V 50HZ
5.工作溫度：5-45℃
6.工作壓差：0.1~0.5MPa
7.壓力：3MPa
8.準確度：±1.0%F.S.
9.質量流量計相應時間：1S
10.測量范圍：0.1MPa-0.15MPa
11.混氣罐：304不銹鋼
12.進出氣接口：采用φ不銹鋼卡套接頭
13.管道：內部管道為6mm不銹鋼管 外部管道為6mm聚四氟管
14.尺寸：650X650X650mm
15.控制面板：每路氣路設定和查看都集中在PLC觸摸屏上可通過PLC設定每個通道的氣體流量，實時查看各通道的流量曲線和設定數據
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