滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔又叫氦質(zhì)譜檢漏儀漏孔,氦質(zhì)譜檢漏儀標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用氦氣對石英及大多數(shù)玻璃有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對污染不敏感;長時(shí)間內(nèi)漏率穩(wěn)定;漏率可以做得很小。
? 充裝氣體:氦氣
? 漏率范圍:一般在 10 -7 -10 -12 Pa·m 3 /s
? 示值允許偏差: ±15%
? 溫度補(bǔ)償:3%/℃
? 漏孔元件:玻璃滲透膜
? 抗堵塞能力:優(yōu)異
? 穩(wěn)定性:長時(shí)間內(nèi)漏率穩(wěn)定
? 閥門:手動(選配)
? 接口:KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制
? 出口:真空
? 氦室容積:150mL/200mL
? 充壓:不可自行充氣加壓
? 年衰減:(閥門常開)
10 -7 Pa·m 3 /s≤10%/y、10 -8 Pa·m 3 /s≤3%/y、
10 -9 Pa·m 3 /s≤1.5%/y、 10 -10 Pa·m 3 /s≤0.5%/y、
10 -11 Pa·m 3 /s≤0.3%/y 、10 -12 Pa·m 3 /s≤0.1%/y
? 氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)
? 作為氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)漏孔
? 氦質(zhì)譜檢漏儀最小可檢漏率校準(zhǔn)
? 氦質(zhì)譜檢漏有效最小可檢漏率校準(zhǔn)
? 實(shí)際漏孔漏率的確定